德国 Ebmpapst 品牌风扇风机 R3G560-PB31-02 应用于薄膜沉积设备

型号实例：

型号：R3G560-PB31-02；速度min-1：1700；Phase：3；气流（立方米/小时）：11500；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：900；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G500-RA28-03；速度min-1：1900；Phase：3；气流（立方米/小时）：8280；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：950；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G500-RL96-01；速度min-1：1350；Phase：3；气流（立方米/小时）：6130；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：450；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G500-RK55-21；速度min-1：1100；Phase：1；气流（立方米/小时）：5100；标称电压（V）：200 - 277；最大背压（Pa）：300；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G560-PB22-C1；速度min-1：1470；Phase：3；气流（立方米/小时）：10100；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：710；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G500-RA26-C1；速度min-1：1820；Phase：3；气流（立方米/小时）：7600；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：900；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G500-RT04-H1；速度min-1：900；Phase：1；气流（立方米/小时）：3860；标称电压（V）：200 - 277；最大背压（Pa）：220；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G500-RS06-G1；速度min-1：750；Phase：1；气流（立方米/小时）：3400；标称电压（V）：200 - 277；最大背压（Pa）：135；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G560-PC10-L1；速度min-1：1860；Phase：3；气流（立方米/小时）：12700；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：1100；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G560-PB31-65；速度min-1：1700；Phase：3；气流（立方米/小时）：11500；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：900；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

德国 Ebmpapst 品牌风扇风机 R3G560-PB31-02 应用于薄膜沉积设备

公司介绍：

Ebmpapst是一家风扇和电机制造商，总部位于德国。Ebmpapst的产品广泛应用于各种工业和商业领域，包括暖通空调、家电、信息技术、汽车工业等。

应用介绍：

在半导体制造中，薄膜沉积工艺需要在真空环境下进行，这些设备的高温操作会产生大量的热量。Ebmpapst的风扇被用于物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）设备中，帮助控制沉积腔体和周边电子元件的温度，确保薄膜的均匀性和质量。