德国 Ebmpapst 品牌风扇风机 R3G560-PC04-01 应用于蚀刻设备

型号实例：

型号：R3G560-PC04-01；速度min-1：1760；Phase：3；气流（立方米/小时）：11750；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：1030；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-FA38-03；速度min-1：1270；Phase：3；气流（立方米/小时）：12600；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：500；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G560-RA24-03；速度min-1：1750；Phase：3；气流（立方米/小时）：9900；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：800；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-FC04-03；速度min-1：1470；Phase：3；气流（立方米/小时）：15520；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：600；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-FB32-03；速度min-1：1420；Phase：3；气流（立方米/小时）：14650；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：600；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-FK60-01；速度min-1：820；Phase：1；气流（立方米/小时）：7700；标称电压（V）：200 - 277；最大背压（Pa）：220；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-FL98-01；速度min-1：1000；Phase：3；气流（立方米/小时）：10550；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：270；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-PC04-L1；速度min-1：1610；Phase：3；气流（立方米/小时）：12900；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：950；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G630-PC08-03；速度min-1：1500；Phase：3；气流（立方米/小时）：13170；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：750；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

型号：R3G710-PC05-03；速度min-1：1150；Phase：3；气流（立方米/小时）：13800；标称电压（V）：380 - 480；最大背压（Pa）：650；频率（赫兹）：50/60；AC/DC：AC

德国 Ebmpapst 品牌风扇风机 R3G560-PC04-01 应用于蚀刻设备

公司介绍：

Ebmpapst是一家风扇和电机制造商，总部位于德国。Ebmpapst的产品广泛应用于各种工业和商业领域，包括暖通空调、家电、信息技术、汽车工业等。

应用介绍：

蚀刻工艺是精细图形在半导体晶圆上形成的关键步骤，蚀刻设备的等离子体源和反应腔体需要有效的冷却。Ebmpapst的风扇确保这些设备在高温工作环境中保持冷却，从而提高蚀刻精度和一致性，防止设备损坏。